RCO催化燃燒設備方法的工藝組成：不同的排放時間和不同的廢氣有不同的工藝流程。但是，無論采用何種工藝流程，都由以下工藝單元組成：
(1)廢氣的預處理：為了避免催化劑床的堵塞和催化劑中毒的堵塞，需要在進入床前預處理廢氣，以去除廢氣中的灰塵、液體水滴和催化劑毒液。
(2)預熱裝置:預熱裝置包括尾氣預熱裝置和RCO催化燃燒設備預熱裝置。
工業廢氣處理技術的RCO催化燃燒設備方法。
催化劑對RCO催化燃燒設備方法有催化劑活性溫度，稱為催化劑光滅溫度，在進行催化劑燃燒之前，廢氣的溫度需要達到光滅溫度，因此需要設置預熱裝置。但是，如果廢氣本身的溫度相對較高，例如溫度可以達到300℃以上的漆包線、絕緣材料、烘焙清漆等，則不需要安裝預熱裝置。
預熱裝置加熱的熱氣可以在床層采用換熱器及管道排列的方式。
煙氣或電加熱可作為預熱器的熱源，目前使用更多的電加熱。催化反應開始后，廢物氣體需要盡可能預熱到反應溫度。
反應熱大的話，為了節約能源，應該安裝余熱回收裝置。
一般預熱的廢氣的熱源溫度超過催化劑的活性溫度。
為了保護催化劑，加熱裝置需要與RCO催化燃燒設備保持一定距離，這還可以產生廢氣均勻的溫度分布。
從預熱的需要開始，催化劑燃燒方法最適合持續地排氣凈化。如果尾氣是間歇性的，則每次預熱不僅需要能源消耗，而且不能回收反應熱，因此能源浪費很大。這一點要注意設計和選擇。
(3)RCO催化燃燒設備：固定床催化反應器通常用于工業廢氣處理。核反應堆應按照規范設計，方便催化劑的操作、維護及裝卸。
在催化燃燒工藝設計中，重明環境保護應在具備一定條件和大規模氣體處理能力的情況下，即獨立安裝預熱器及反應器，并設計管道相互連接的零部件施工工藝。對于治理能力小的情況，可以用催化劑焚燒爐預加熱和反應相結合。但要支付注意預熱部分和反應部分之間的距離。
有機廢氣催化燃燒處理的有機廢氣，在高溫下與空氣混合容易爆炸，因此安全問題非常重要。

因此，一方面，需要控制有機物和空氣的混合比例，使其處于更低的爆炸極限；另一方面，RCO催化燃燒設備應配備監測和報警裝置及防爆措施。